场发射扫描电子显微镜仪器先容
一、仪器照片
品牌与型号：日本电子（JEOL）JSM-IT800。。。。。。。。
仪器类型：台式场发射扫描电子显微镜。。。。。。。。
应用领域：普遍应用于纳米质料、化学、半导体、生物等领域 ，，，， ， ，，可用于样品的高区分率成像、元素剖析等。。。。。。。。
二、主要特点
电子枪手艺：接纳浸没式肖特基Plus场发射电子枪 ，，，， ， ，，集成了浸没式肖特基发射体和低像差聚光镜 ，，，， ， ，，实现了高束流亮度 ，，，， ， ，，纵然在低加速电压（如5kV）下也能提供富足的探针电流（100nA） ，，，， ， ，，可用于高区分率视察、高速元素mapping、EBSD剖析和软X射线剖析等。。。。。。。。
电子光学控制系统：配备“Neo Engine”新一代电子光学控制系统 ，，，， ， ，，在调解种种显微镜参数时能实现稳固视察 ，，，， ， ，，且增强了自动功效 ，，，， ， ，，使用越发便捷。。。。。。。。
物镜 ？ ？？？？？？？椋禾峁┒嘀治锞蛋姹 ，，，， ， ，，包括混淆型物镜（HL）、超等混淆物镜（SHL/SHLs）和半浸没式物镜（i/is） ，，，， ， ，，以知足差别用户的需求 ，，，， ， ，，可实现从通例视察到高区分率剖析等多种功效。。。。。。。。
探测器系统：可配备新型闪灼体背散射电子探测器（SBED）和多功效背散射电子探测器（VBED）。。。。。。。。SBED能以高响应性获取图像 ，，，， ， ，，在低加速电压下也能爆发清晰的质料衬度；； ；；；；VBED则可资助获取3D、形貌和质料衬度的图像。。。。。。。。
软件系统：集成了无缝GUI系统“SEM Center” ，，，， ， ，，并标配JEOL的X射线能量色散谱仪（EDS） ，，，， ， ，，可实现从视察到元素剖析的数据一连收罗 ，，，， ， ，，提高事情效率。。。。。。。。
三、手艺参数
二次电子图像区分率：0.5nm（15kV） ，，，， ， ，，0.7nm（1kV）。。。。。。。。
放大倍数：10×～2,000,000×。。。。。。。。
加速电压：0.01kV～30kV。。。。。。。。
背散射电子图像区分率：4.0nm@30kV（低真空模式）。。。。。。。。
